HALO™系列:高性能超高純氣體分析儀

HALO Max QCL CO /CO₂ (量子級聯雷射 一氧化碳分析儀 /二氧化碳分析儀)
 
   HALO Max QCL CO 
這款新一代分析儀能夠顯著降低一氧化碳 (CO)等關鍵雜質的檢測極限,實現ppt 級靈敏度、卓越的速度和長期穩定性。
 HALO Max QCL CO₂ 
專門用於偵測超高純度大宗氣體中的兆分之一 (ppt) 級二氧化碳。它採用中紅外量子級聯雷射 (QCL) 光腔衰盪光譜 (CRDS) 技術,提供連續、即時的測量。
 偵測氣體  一 (CO)  二 (CO)
 背景氣體   氮氣 (N)、氣 (He)、氣 (Ar)、氣 (H)、氣 (O)、潔淨乾燥空氣 (CDA)  氣 (N)、氣 (He)、氣 (Ar)、氣 (H)、氣 (O)、潔淨乾燥空氣 (CDA)
 量測範圍   0–0.5 ppm  0–2.5 ppm
 最低檢出限  200 ppt  100 ppt
 主要特點
  • 即時連續監測
  • 快速簡便的安裝
  • 低維護成本,零點漂移極小
  • 置零點驗證
  • 功能強大、一體化設計,並配備用友好界面
  • 利用 CRDS 對包括 O2 在的所有大宗氣體進行分析
  • 即時測量——快速且連續
  • 無需校準– 維護成本低、耗材極少
  • 擁有成本低——耗材極少
  • 氣和氣的氣相層析儀可將氣的使用量限制在 90% 以上
 主要功能
  • 超高純氣體中一 (CO) 的萬億分之一 (ppt) 檢測能力
  • 採用中紅外線量子級聯雷射技術、實現極致靈敏度
  • 對測量(無需校準)
  • 在ppb及以下濃度水準下均具有極佳的反應速度
  • 連續測量-氣相層析法通常不進行批量處理
  • 堅固耐用的設計,使用極為簡便
  • 高靈敏度、連續且即時地偵測超高純度氣體中的微量二雜質
  • 採用光腔衰盪光譜 (CRDS) 技術進行對測量、實現極致靈敏度
  • 實現即時監控、避免了傳統氣相色譜儀 (GC) 所需的批次處理程序
  • 置零點驗證、CRDS 技術對目標分子可防止其他氣體干擾測量結果
 應用領域  主要應用於對氣體純度要求極高的場合,例如半導體製造、電子氣體生產、超高純度氣體系統、燃料電池和研發等領域。  主要應用於需要偵測超微量二且對氣體純度要求極高的領域。


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