| HALO Max QCL CO 這款新一代分析儀能夠顯著降低一氧化碳 (CO)等關鍵雜質的檢測極限,實現ppt 級靈敏度、卓越的速度和長期穩定性。 |
HALO Max QCL CO₂ 專門用於偵測超高純度大宗氣體中的兆分之一 (ppt) 級二氧化碳。它採用中紅外量子級聯雷射 (QCL) 光腔衰盪光譜 (CRDS) 技術,提供連續、即時的測量。 |
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| 偵測氣體 | 一氧化碳 (CO) | 二氧化碳 (CO₂) |
| 背景氣體 | 氮氣 (N₂)、氦氣 (He)、氬氣 (Ar)、氫氣 (H₂)、氧氣 (O₂)、潔淨乾燥空氣 (CDA) | 氮氣 (N₂)、氦氣 (He)、氬氣 (Ar)、氫氣 (H₂)、氧氣 (O₂)、潔淨乾燥空氣 (CDA) |
| 量測範圍 | 0–0.5 ppm | 0–2.5 ppm |
| 最低檢出限 | 200 ppt | 100 ppt |
| 主要特點 |
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| 主要功能 |
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| 應用領域 | 主要應用於對氣體純度要求極高的場合,例如半導體製造、電子氣體生產、超高純度氣體系統、氫燃料電池和研發等領域。 | 主要應用於需要偵測超微量二氧化碳且對氣體純度要求極高的領域。 |