首頁 產品介紹 Tiger Optics (美國) HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀
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HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀

HALO KA Max / KA (超高純度UHP、IND、SP 痕量氣體分析儀 / 超高純度UHP 水分氣體儀)
 
   HALO KA Max 
 專為在超高純度 (UHP) 氣體中進行兆分之一 (ppt) 級別的雜質檢測而設計。它利用經現場驗證的連續波光腔衰盪光譜 (CW-CRDS) 技術。		  HALO KA 
 是終極的 UHP 氣體分析儀，專為檢測散裝氣體、特種氣體和複雜氣體混合物中的H₂O而設計，檢測精度可達萬億分之一 (ppt) 等級。
 偵測氣體  水分 (H₂O)、氨氣 (NH₃)、甲烷 (CH₄)  水分 (H₂O)
 背景氣體   超高純氣體 / 工業氣 / 特氣 超高純度(UHP) , 工業級 (IND), SP (特級或專用級)  超高純氣體 UHP
 量測範圍   依型號而異  依型號而異
 最低檢出限  ppb 等級  ppb 等級
 主要特點
  • 在多種氣體中萬億分之一 (ppt) 氨、甲烷以及水分的檢測能力
  • 絕對測量（無需校準）
  • 經現場驗證 擁有成本最低且易於使用
  • 佔地面積小（兩個 Halo KA Max 可以裝進一個 19 英寸的機架）
  • 多種氣體中萬億分之一 (ppt) 水分檢測能力
  • 絕對測量（無需校準）
  • 擁有成本低，使用方便
  • 寬動態範圍－超過四個數量級
  • 現已包含：Speed+ 效能升級－智慧動態資料處理技術、可提升分析儀的反應速度，同時維持低雜訊效能
 主要功能
  • 超高靈敏度: 檢測下限 (LDL) 可達 100 ppt（例如H₂O和NH₃) 或 500 ppt（例如CH₄)
  • CRDS的技術可確保精度、穩定性和即時效能
  • 能夠快速響應亞 ppb 級別的濃度變化、確保及時發現製程問題
  • 內建零點驗證、簡化維護 
  • 超高靈敏度：可偵測低至 100 ppt 的水蒸氣濃度。
  • 相容於多種氣體：適用於散裝氣體、特殊氣體和反應性混合物
  • CRDS技術確保了基於雷射的精度和長期穩定性。
  • 即插即用，安裝簡便，維護成本極低。
  • 內建零點驗證，簡化維護
  • 非常適合半導體級氣體純度控制
 應用領域  主要圍繞在超高純度 (UHP) 氣體監測，例如半導體和微電子製造、大宗氣體和特種氣體生產、高純度管道認證、製程工具監控、研發 (R&D) 和分析實驗室、空氣分離裝置 (ASU) 和氣瓶品質控制。 適合對水分測量要求極高的應用，例如半導體和微電子製造、特種氣體和大宗氣體生產、製藥和生物技術、清潔能源和氫氣生產、氣瓶品質控制以及其他眾多高要求應用。


 


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