首頁 產品介紹 Tiger Optics (美國) HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀
  • 尋找：

HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀

HALO RP (減壓微量 雜質水分儀)
 
 偵測氣體  水分 (H₂O)、氟化氫 (HF)
 背景氣體   多種氣體
 量測範圍   依型號而異
 最低檢出限  ppb
 主要特點
  • 在惰性氣體、酸性氣體和氫化物背景氣體中具有低至十億分之一 (ppb) 的檢測能力
  • 絕對測量（不受校準氣體影響）
  • 寬動態範圍－超過四個數量級
  • 擁有成本低、操作簡便
  • 清潔技術－無需外部校正氣體
  • CRDS技術且符合SEMI-F112 06-13標準 可防止交叉干擾
 主要功能
  • 高靈敏度地檢測超微量水氣與氟化氫分析
  • 低壓操作50 Torr 至 15 psig (約 0.07 至 2 bara)範圍內運行
  • 即時、連續監測
  • CRDS 技術具高度特異性可防止交叉干擾
  • 配備 5.7" LCD 觸控螢幕、乙太網路、USB 和 RS-232/RS-485 等介面
  • 無需定期更換感測器或進行昂貴的維護
 應用領域  監測基材附近或製程室排氣中的污染物，可顯著降低導致產品產量損失的製程問題風險。如 半導體製程工具、超高純氨(UHP) 和高亮度LED、氣體品質控制、痕量氣體分析的研究和開發專案。


上一則   |   回上頁   |   下一則