| 偵測氣體 |
水分 (H₂O) |
| 背景氣體 |
多種氣體 |
| 量測範圍 |
依型號而異 |
| 最低檢出限 |
ppb |
| 主要特點 |
- NH₃、PH₃ 、 AsH₃ 、 GeH₄和 SiH₄中低濃度(十億分之一級)水分檢測能力
- 絕對測量(不受校準氣體影響)
- 寬動態範圍-超過四個數量級
- 擁有成本低 操作簡便
- 清潔技術-無需外部校正氣體
- 緊湊型分析儀
- 使用者可程式警報會在發生高事件時立即發出通知
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| 主要功能 |
- 絕對水分測量水分子的吸收光譜無需使用校準氣體
- 兼容腐蝕性氣體而不會損壞傳感器
- 快速連續監測能夠持續監測氣體流中的微量雜質變化
- 不需要定期更換傳感器、進行跨度校準或使用純化器
- 配備觸控螢幕和多種通訊介面(乙太網路、USB、RS-232)
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| 應用領域 |
成為全球電子製造商和特殊氣體供應商在氨氣和磷化氫中微量水分檢測領域的行業領導者如 氣態標準物質和校正氣體混合物、高純度氣體及系統、超高純氨和高亮度LED、工業和醫療氣體。 |