首頁 產品介紹 Tiger Optics (美國) HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀
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HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀

HALO QRP (超低壓力 痕量水分儀)
 
 偵測氣體  水分 (H₂O)
 背景氣體   多種氣體
 量測範圍   依型號而異
 最低檢出限  ppb
 主要特點
  • 在分壓為 1 µTorr 及以下條件下進行水分檢測
  • 絕對準確度和極佳精度
  • 寬動態範圍－超過四個數量級
  • 擁有成本低 操作簡便
  • 清潔技術－無需外部校正氣體
  • 緊湊型分析儀 也可作為OEM模組用於設備/系統集成
 主要功能
  • 超低壓水分監測 (< 50 TORR)甚至低至 1 Torr 範圍內運行
  • 低溫磊晶 (LT-Epi)、ALD 和 MOCVD 等低壓半導體沉積製程
  • 即時、快速響應（T90 反應時間通常在幾分鐘內）
  • 高靈敏度檢測
  • 免校準技術 無需日常維護
  • 多種背景氣體相容性 包括 氮氣、氦氣、氬氣、氫氣、氯化氫(鹽酸) 等 
 應用領域  集中在對濕度控制極為嚴格的低壓環境和超高純度 (UHP) 氣體相關產業，特別是 半導體製造 如 低溫磊晶 (LT-Epi), ALD（原子層沉積) , MOCVD(金屬有機化學氣相沉積）等沉積製程、負載鎖 (Load Lock) 和晶圓傳送腔室監測、超高純度氣體生產與品管、工業氣體和化學品生產。


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