HALO™系列：高性能超高純氣體分析儀
HALO H₂O in N₂O (一氧化二氮中微量水分析儀)
| 偵測氣體 | 水分 (H₂O) |
| 背景氣體 | 氧化亞氮 (N₂O) |
| 量測範圍 | 依型號而異 |
| 最低檢出限 | ppb |
| 主要特點 |
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| 主要功能 |
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| 應用領域 | 應用於對濕度控制極為嚴格的工業和醫療領域，例如醫療級 N₂O 氣體的連續品質控制、校準氣體的氣瓶分析以及半導體生產流程等等。 |
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