Entegris

Model: Wafergard® II F Micro In-line Gas Filters
卓越的顆粒過濾,用於超純氣體系統過濾。晶圓® II F 微型線上氣體篩檢程式推薦用於惰性氣體和活性氣體,可與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的相容性。其緊湊的直徑便於安裝在狹窄的氣板和機櫃中。
●PTFE 膜提供高效率的過濾
●低壓降可降低低蒸汽壓力氣體冷凝的風險
●與各類半導體工藝氣體的相容性極佳
●用於惰性氣體和活性氣體,包括臭氧
 


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