Entegris

Model: GateKeeper® GPU Gas Purifiers
GateKeeper® GPU 系列净化器旨在提高工艺气体的一致性、使用寿命和出口纯度。
●纯度到百分位水平
●气体兼容性范围广泛,包括腐蚀性气体,如Cl2、HBr、HCl、CF4、SO2、SF6
●低压降过净化器
●CE 通过压力设备指令 PED 认证,并在 ISO 9001-2000 工厂制造
●可再处理]消除了处置问题和成本
 


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