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Entegris

Model: Wafergard® MAX HT In-line Gas Filters
卓越的颗粒过滤，适用于高温、超纯气体应用。
●专为高达 200°C （392°F） 的高温 TEOS 和高压应用而设计
●总体设计（148 mm [5.82]）是类似过滤器的滴点替代品
●紧凑的尺寸适合许多现有的交付系统，并提供设计灵活性和多功能性
●特殊烘焙可实现快速气体输送启动
●低差压提供稳定、更好的物料输送
 


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